плазменное травление

плазменное травление

 

плазменное травление
 Сухое травление, при котором полупроводниковая подложка погружается в плазму, содержащую травящие реагенты; химическая реакция травления происходит с одинаковой скоростью в любом направлении, то есть травление изотропно; может быть очень избирательным; используется тогда, когда не требуется направленность (анизотропия) травления, например, при удалении резиста.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • plasma etching


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Нужен реферат?

Смотреть что такое "плазменное травление" в других словарях:

  • плазменное травление — plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etching vok. Plasmaätzung, f rus. плазменное травление, n pranc. corrosion par plasma, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • плазменное травление в цилиндрическом реакторе — plazminis ėsdinimas cilindriniame reaktoriuje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. barrel reactor plasma etching vok. Plasmaätzen im Trommelreaktor, n rus. плазменное травление в цилиндрическом реакторе, n pranc. décapage par… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • высокочастотное плазменное травление — aukštadažnis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radio frequency plasma etch vok. Hochfrequenzplasmaätzen, n rus. высокочастотное плазменное травление, n pranc. décapage par plasma haute fréquence, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • микроволновое плазменное травление — mikrobanginis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. microwave plasma etching vok. Mikrowellenätzung, f rus. микроволновое плазменное травление, n pranc. décapage microhertzien par plasma, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • травление в литографии — Термин травление в литографии Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист Определение этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Травление — Не следует путать с Травля (значения). Фольгированный текстолит …   Википедия

  • плазменное ионное травление — joninis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion assisted plasma etching vok. Plasmaionenätzen, n rus. плазменное ионное травление, n pranc. décapage ionique par plasma, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • ТРАВЛЕНИЕ — химическое, удаление части поверхностного слоя монокристалла, заготовки или изделия с помощью топохим. р ций. Проводится с использованием р ров, расплавов, газов (газовое Т.) или активир. газов (напр., плаз мохимическое Т.). Собственно химическое …   Химическая энциклопедия

  • Плазма — У этого термина существуют и другие значения, см. Плазма (значения). Плазменная лампа, иллюстрирующая некоторые из наиболее сложных плазменных явлений, включая филаментацию. Свечение плазмы обусловлено переходом …   Википедия

  • Плазменная обработка — процесс обработки материалов при помощи плазмы с целью изменения физических или химических свойств поверхности обрабатываемого объекта. Подвидами плазменной обработки являются: Плазменная активация; Плазменная модификация; Плазменное травление;… …   Википедия


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»